第331章 流片成功！（1/2）

......

第七天。

凌晨两点零三分。

帝都的夜很安静。

中关村的路灯坏了两盏，没人修。

地下室里，VAX-11的风扇嗡嗡地转。

司徒渊敲下最后一个回车键。

仿真程序运行了五十一分钟。

屏幕上的代码，像瀑布一样狂泄。

三个人谁都没坐。

张秉谦站在屏幕左侧，老花镜推到了额头上，反而不戴了。

林希站在右侧，双手插在裤兜里。

司徒渊站在正中间，手搭在键盘边框上，指甲盖发白。

瀑布停止。

最后三行。

全是悦目的纯绿色。

`ISABUSTig:PASSED`

`AllTigStratS:MET`

`TOtalViOtiOnS:0`

张秉谦摘下额头上的老花镜。

他没喊，没笑。

他把眼镜折好，心翼翼地放进胸口的口袋里。

然后他蹲了下去。

蹲在冰凉的瓷砖地面上，双手捂住了脸。

肩膀在抖。

没有声音。

林希转过头，不去看他。

司徒渊也转过头。

去看那台冰箱大的机器。

米白色的外壳上，DEC的标志在地下室的日光灯管下反着光。

他盯着那个标志看了几秒。

然后伸出手，轻轻地拍了拍机箱外壳。

“谢了。”他用英语。

声音很轻。

直播间安静了整整八秒。

然后弹幕像潮水一样涌上来。

【零违规！！！全部通过！！！】

【七天！三个人干了别人一个团队半年的活！】

【张工那双膝盖上的白印到底磨掉了几层皮啊】

【不了，眼睛进沙子了】

......

从中关村的地下室，到津门二厂的轰鸣。

短短几天，犹如跨越了一个时代。

七月一号。

津门无线电二厂。

硅基产线全速开动。

这是GK-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。

陈默亲自操机，手指搭在对焦旋钮上，眼睛贴着目镜。

光栅尺的数字跳动，伺服电机精准补偿每一个微米的误差。

曝光。

显影。

硅片上的线条清晰锐利，边缘笔直。

刻蚀环节，BOE槽液控温稳定在三十五度。

第一批硅片过检，沟槽完美。

陈默回头冲林希竖了个大拇指。

直到离子注入。

长安771所支援的国产离子注入机是十年前的老型号。

苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜，反复调整参数。

打出来的硅片，送到显微镜下一看。

掺杂深度分布不均匀。

有的区域深了，有的区域浅了。

像一块没发好的面，有些地方鼓着，有些地方瘪着。

直接后果：芯片漏电。

测试探针扎下去，电流一路跑偏，根本锁不住。

苏佩兰试了七组参数，全部失败。

“机器太老了。”

她摘下防尘面罩，额头上全是汗。

“束流不稳，真空也拉不到位。”

车间里的气氛沉下去了。

光刻过了，刻蚀过了，偏偏倒在了最基础的掺杂上。

林希站在注入机旁边，手扶着冰凉的金属外壳。

他闭上眼睛。

脑海中，直播间的弹幕已经开始翻涌。

【离子注入！关键参数来了！！！】

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